平移范圍17.5mm(5")
測(cè)量范圍300μm(±150μm)[12000μinch(±6000μinch)]
驅(qū)動(dòng)/檢測(cè)元件探測(cè)儀:178-390/178-395
測(cè)頭:金剛石
測(cè)量力:4mN/0.75mN
探測(cè)方式:微感應(yīng)
評(píng)定輪廓P,R
估計(jì)參數(shù)Ra,Ry,Rz,Rt,Rp,Rq,Sm,S,P"/>
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產(chǎn)品詳情
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